Высоковакуумный насос KYKY ZF180L со стартом от атмосферного давления

Насос KYKY ZF180L относится к классу высоковакуумных агрегатов прямой откачки и рассчитан на запуск непосредственно с атмосферного давления без применения отдельного форвакуумного поста. Такая схема упрощает вакуумные системы, сокращает время выхода камеры на рабочие режимы и снижает стоимость владения. Агрегат обеспечивает устойчивую непрерывную работу в технологических процессах с требованиями к чистоте и низкому уровню вибраций, достигая предельного давления ниже 1×10^-2 Па.

Применение

ZF180L используется в вакуумных шлюзах и загрузочно-разгрузочных модулях, исследовательских и производственных камерах, установках нанесения покрытий, плазмохимических процессах, ионной имплантации, а также в стендах контроля герметичности и вакуумных испытаний, где важен быстрый набор вакуума при минимальном фоновом загрязнении. Компоновка и материалы насоса ориентированы на эксплуатацию в чистых помещениях и рядом с чувствительным измерительным оборудованием.

Конструктивные и эксплуатационные особенности

Насос запускается с атмосферы без ограничения по длительности пуска, обеспечивает максимальную быстроту откачки 170 м³/ч в области среднего вакуума и характеризуется низкими шумом до 59 dB(A) и вибрацией менее 0,2 g. Применение инертной фторсодержащей смазки Fomblin 6/6 исключает перенос углеводородов в вакуумный объём и повышает совместимость с чистыми процессами. Входной фланец выполнен по ISO-K63, выхлопной — KF25. Насос рассчитан на вертикальный монтаж с входом вверх; при эксплуатации допускается наклон до 5°, при транспортировании — не более 15°. Для стабилизации параметров предусмотрен штатный прогрев порядка 30 минут. Питание трёхфазное 200/208 В ±10 % при частоте 47–63 Гц, номинальная мощность без нагрузки около 1,3 кВт, максимальная — до 3 кВт.

Основные технические характеристики

Габаритные размеры

Размеры приведены для проектирования монтажных мест и расчёта проводимости вакуумных трасс. Все значения указаны в миллиметрах.

Поставка, пуско-наладка, интеграция в технологические линии и регламентный сервис выполняются лабораторией Leaklab как официальным представителем KYKY. При эксплуатации требуется обеспечить защитное заземление, отсутствие конденсации и загрязнений в откачиваемой среде, а также соблюдение условий монтажа и транспортирования.