Турбомолекулярные откачные посты KYKY (62–260 л/с, до 1×10⁻⁵ Па)
Турбомолекулярные откачные посты KYKY представляют собой законченные вакуумные модули, в которых в едином корпусе объединены турбомолекулярный насос серии FF, форвакуумный насос, система управления, защитная и запорная арматура, а также вакуумная измерительная аппаратура. Такое исполнение позволяет использовать посты как самостоятельный высоковакуумный источник при лабораторных исследованиях и испытаниях, так и как встроенный узел в составе аналитических, технологических и течеискательных установок. Посты рассчитаны на достижение предельных давлений на уровне 5×10⁻⁵ Па и обеспечивают реальные скорости откачки по азоту в диапазоне от 62 до 260 л/с, что делает их пригодными для откачки небольших и средних по объему вакуумных камер, загрузочных шлюзов, измерительных объемов и модулей контроля герметичности.
Концепция постов KYKY основана на использовании проверенных турбомолекулярных насосов FF-63/80, FF-100/150 и FF-100/300, которые отличаются компактностью, устойчивой работой на воздушном или принудительном воздушном охлаждении и малым уровнем вибраций. Турбомолекулярная ступень дополняется форвакуумным насосом двух вариантов исполнения: масляным (GHD-031B, RV-4 и аналоги) либо сухим (SVF-E1-20), что дает пользователю возможность выбирать конфигурацию в зависимости от требований к чистоте процесса и допустимости применения маслозаполненных агрегатов. Встроенный модуль управления TC-100 обеспечивает задержку запуска турбомолекулярного насоса, контроль по форвакуумному давлению и автоматический переход в рабочий режим без участия оператора.
Посты серии FJ-80, FJ-150 и FJ-300 спроектированы таким образом, чтобы обеспечить минимальные требования к подключению. Для их работы достаточно подать питающее напряжение 220 В переменного тока и при необходимости подключить контур охлаждения. В простейшей конфигурации FJ-80 оснащается портативным каркасом и воздушным охлаждением и может использоваться как мобильный откачной блок для обслуживания небольших вакуумных камер, течеискателей и лабораторных установок. Более производительные модели FJ-150 и FJ-300 монтируются на блочной платформе, имеют развитую систему принудительного воздушного охлаждения и могут оснащаться ионизационным манометром для контроля давления в диапазоне до 10⁻⁵ Па. Такое исполнение характерно для стационарных лабораторий, производственных линий нанесения покрытий и полупроводниковых участков.
Важная особенность турбомолекулярных откачных постов KYKY заключается в том, что вся логика защиты от неправильного пуска встроена в штатный модуль. Запуск турбомолекулярного насоса разрешается только после того, как форвакуумный насос снизил давление на входе до безопасного значения. В режимах ручного управления запуск разрешается при давлении около 500 Па, в автоматических режимах у FJ-150 и FJ-300 уставка может быть изменена и, как правило, составляет 200 Па и 100 Па соответственно. Это исключает режимы, при которых турбомолекулярная ступень нагружается повышенным расходом и может выйти из строя. Такой принцип особенно важен при эксплуатации постов в составе установок контроля герметичности, где операторская ошибка или внезапная подача гелия в объем могут привести к кратковременному росту давления.
В состав постов входит базовая вакуумная арматура: электромагнитные блок-клапаны AirTAC либо SIEG, гофрированные трубки, прижимные зажимы, уплотнительные кольца из бескислородной меди и комплект фланцев DN63 или DN100 в зависимости от выбранной модификации. Это позволяет подключать пост непосредственно к вакуумной системе заказчика без дополнительной дооснастки. Для вариантов, поставляемых в лабораторные подразделения или для испытательных участков, возможно дополнение поста комбинированными датчиками Пирани и ионно-разрядными манометрами, что расширяет контролируемый диапазон давлений от 10⁵ до 10⁻⁵ Па и дает возможность автоматически фиксировать достижение требуемого вакуума.
Благодаря применению в составе постов турбомолекулярных насосов серий FF-63/80, FF-100/150 и FF-100/300, в которых используются керамические подшипники с консистентной смазкой и самоуплотняющейся конструкцией, достигается длительный межсервисный интервал 3–5 лет при нормальных условиях эксплуатации. Это особенно ценно при размещении постов в составе технологических модулей, где нет постоянного доступа для обслуживания. Воздушное охлаждение постов, реализованное в стандартных модификациях, делает их независимыми от водяных систем и удобными для применения на мобильных и выездных установках.
Комплектация и основные исполнения
| Параметр | FJ-80 (W) | FJ-150 (W) | FJ-300 (W) |
|---|---|---|---|
| Каркас | Портативный блок | Блочная платформа | Блочная платформа |
| Турбомолекулярный насос | FF-63/80 | FF-100/150 | FF-100/300 |
| Модуль управления ТМН | TC-100 | TC-100 | TC-100 |
| Форвакуумный насос | GHD-031B (масляный) или SVF-E1-20 (сухой) | RV-4 (масляный, стандарт); сухой по запросу | RV-4 (масляный, стандарт); сухой по запросу |
| Вакуумный датчик | WPC400 (внешний, опция) | ZDF-11B5, диапазон 10⁵ – 10⁻⁵ Па | ZDF-11B5, диапазон 10⁵ – 10⁻⁵ Па |
| Электромагнитный блок-клапан | AirTAC | SIEG | SIEG |
| Фланец подключения | DN63 / CF35 / KF40 (по запросу) | DN100 / CF35 / KF40 (по запросу) | DN100 / CF35 / KF40 (по запросу) |
| Дополнительные принадлежности | Гофра, зажимы, болты, блок-клапан, медное уплотнение (опция) | Гофра, зажимы, болты, блок-клапан, медное уплотнение (опция) | Гофра, зажимы, болты, блок-клапан, медное уплотнение (опция) |
Технические характеристики
| Параметр | FJ-80 | FJ-150 | FJ-300 |
|---|---|---|---|
| Быстрота откачки по N₂ | 62 л/с | 140 л/с | 260 л/с |
| Предельное давление (LF / CF) | < 5,0×10⁻⁵ Па | < 5,0×10⁻⁵ Па | < 5,0×10⁻⁵ Па |
| Входной фланец | DN63 ISO-K или CF | DN100 ISO-K или CF | DN100 ISO-K или CF |
| Выходной фланец | DN8 | DN25 ISO-KF | DN25 ISO-KF |
| Скорость форвакуумного насоса | 0,5 л/с (масляный), 0,2 л/с (сухой) | 3 л/с (масляный), 2 л/с (сухой) | 3 л/с (масляный), 2 л/с (сухой) |
| Задержка запуска турбонасоса | 1–30 мин (настраиваемая) | 1–30 мин (настраиваемая) | 1–30 мин (настраиваемая) |
| Контроль вакуума | по датчику (опция) | Пирани 10⁵ – 10⁻¹ Па | Пирани 10⁵ – 10⁻¹ Па, ионный 10⁻¹ – 10⁻⁵ Па |
| Давление запуска | 500 Па (ручной режим) | 200 Па (авто, настраивается) | 100 Па (авто, настраивается) |
| Метод охлаждения | Воздушное, 5–35 °C | Принудительное воздушное, 5–35 °C; водяное по запросу | Принудительное воздушное, 5–35 °C; водяное по запросу |
| Уровень шума | ≤ 55 дБ(А) | ≤ 60 дБ(А) | ≤ 60 дБ(А) |
| Питание | AC 220 В ±10 %, ≥ 0,5 кВт | AC 220 В ±10 %, ≥ 1,5 кВт | AC 220 В ±10 %, ≥ 1,5 кВт |
| Потребляемая мощность (сухой / масляный) | ≤ 110 Вт / ≤ 200 Вт | ≤ 300 Вт / ≤ 600 Вт | ≤ 300 Вт / ≤ 600 Вт |
| Масса | 17 кг (сухой), 21 кг (масляный) | 45 кг (сухой), 55 кг (масляный) | 42 кг (сухой), 58 кг (масляный) |
Применение в системах контроля герметичности и у лаборатории «Ликлаб»
Откачные посты данного типа применяются лабораторией «Ликлаб» как стандартный модуль высоковакуумной части при создании установок для испытаний на герметичность, в том числе при работе с гелием в качестве пробного газа. За счет гарантированного выхода на уровень 5×10⁻⁵ Па и устойчивого поддержания этого давления посты обеспечивают низкий фон гелия в вакуумных камерах и стабилизируют показания течеискателя. Компактность FJ-80 позволяет использовать его при выездных работах и в составе переносных камер малого объема, а модели FJ-150 и FJ-300 рационально применять на стационарных стендах, в том числе при испытании арматуры, теплообменников, криогенных емкостей и вакуумных оболочек. Возможность поставки постов как с масляными, так и с сухими форвакуумными насосами дает лаборатории возможность подбирать исполнение под конкретную задачу заказчика, включая чистые процессы и процессы, чувствительные к масляным парам.
Таким образом, турбомолекулярные откачные посты KYKY являются готовым инженерным решением для тех случаев, когда требуется быстрое и воспроизводимое создание высокого вакуума без сложного монтажа и настройки. Наличие полной комплектации, встроенной защиты, гибких вариантов охлаждения и унифицированных фланцевых присоединений делает их удобными для интеграции в российские и международные стандартизованные вакуумные системы, а применение проверенных турбомолекулярных насосов серий FF гарантирует стабильность параметров на всем сроке службы.