Сильфоны вакуумные с фланцами стандарта KF (Klein Flansch, по ISO 2867 или DIN 28404) применяются для герметичных соединений в системах высокого и сверхвысокого вакуума, где требуется гибкость линии, компенсация смещений и виброразвязка между узлами установки. Они изготавливаются из нержавеющей стали, как правило AISI 304L или 316L, и представляют собой тонкостенные гофрированные трубы с присоединительными фланцами типа KF (DN10–DN50).
Основная функция сильфона — обеспечить герметичное соединение при возможности изменения взаимного положения агрегатов. Гофрированная структура компенсирует термические деформации, упрощает монтаж и предотвращает передачу вибраций от насосов к чувствительным приборам. Рабочее давление таких сильфонов составляет от атмосферного до 10⁻⁵ Па, что соответствует требованиям большинства лабораторных и производственных вакуумных систем.
Фланцы стандарта KF имеют байонетное соединение с зажимным хомутом и уплотнительным кольцом из эластомера — чаще всего Viton (FKM), реже NBR или FFKM при высоких требованиях к химической стойкости и температуре. Конструкция соединения обеспечивает быструю сборку и разборку без инструмента, что особенно удобно при проведении сервисных и течеискательных работ.
Геометрия сильфонов подбирается исходя из длины участка и требуемой гибкости. Короткие (100–250 мм) применяются для компенсации вибраций, средние (500–1000 мм) — для соединения модулей откачки, длинные (до 4000 мм) — для трассировки линий между камерами, течеискателями и насосными постами. Для упрощения компоновки выпускаются исполнения с угловым фланцем (отклонение 90°) — обозначаемые индексом «У» в маркировке (например, ВН-KF-40-2000-У).
Типовые характеристики вакуумных сильфонов KF:
диапазон номинальных диаметров — DN10, DN16, DN25, DN40, DN50;
рабочее давление — до 10⁻⁵ Па (при корректной сборке с уплотнением из FKM);
температурный диапазон эксплуатации — от −20 до +200 °C (до +250 °C для FFKM);
допустимая осевая деформация — до 10–15 % длины;
возможность многократных циклов изгиба без потери герметичности.
Маркировка сильфонов по формуле ВН-[Фланец]-[Длина]-[Исполнение]
Ниже приведена унифицированная таблица маркировок сильфонов согласно принятой формуле. Обозначения читаются однозначно: индекс «ВН» — вакуумный сильфон; далее тип присоединительного фланца (KF-16, KF-25, KF-40, KF-50); затем номинальная длина в миллиметрах; в конце исполнение — «П» для прямого присоединения и «У» для углового присоединения на одном из фланцев (отклонение 90°).
| Наименование | Маркировка (новая) | Тип фланцев | Номинальный размер | Длина, мм | Исполнение | Краткое описание |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Сильфон вакуумный KF-16, 2000 мм, прямой | ВН-KF-16-2000-П | KF | 16 | 2000 | П | Линейное соединение трасс большой протяженности; пример из методики. |
| Сильфон вакуумный KF-40, 4000 мм, угловой | ВН-KF-40-4000-У | KF | 40 | 4000 | У | Один фланец повернут на 90°; удобно к течеискателю или боковому порту камеры. |
| Сильфон вакуумный KF-16, 100 мм, прямой | ВН-KF-16-100-П | KF | 16 | 100 | П | Короткая вставка для развязки вибраций. |
| Сильфон вакуумный KF-16, 500 мм, прямой | ВН-KF-16-500-П | KF | 16 | 500 | П | Стандартная перемычка между модулями поста. |
| Сильфон вакуумный KF-16, 1000 мм, угловой | ВН-KF-16-1000-У | KF | 16 | 1000 | У | Компоновка при ограниченном пространстве. |
| Сильфон вакуумный KF-25, 250 мм, прямой | ВН-KF-25-250-П | KF | 25 | 250 | П | Соединение приборных линий среднего диаметра. |
| Сильфон вакуумный KF-25, 500 мм, угловой | ВН-KF-25-500-У | KF | 25 | 500 | У | Подключение к боковым портам течеискателя. |
| Сильфон вакуумный KF-25, 1000 мм, прямой | ВН-KF-25-1000-П | KF | 25 | 1000 | П | Типовой рукав для сервисных соединений. |
| Сильфон вакуумный KF-25, 2000 мм, угловой | ВН-KF-25-2000-У | KF | 25 | 2000 | У | Обход конструктивных препятствий трассы. |
| Сильфон вакуумный KF-40, 100 мм, прямой | ВН-KF-40-100-П | KF | 40 | 100 | П | Жесткая стыковка узлов большого диаметра. |
| Сильфон вакуумный KF-40, 500 мм, прямой | ВН-KF-40-500-П | KF | 40 | 500 | П | Баланс длины и проводимости магистрали. |
| Сильфон вакуумный KF-40, 1000 мм, угловой | ВН-KF-40-1000-У | KF | 40 | 1000 | У | Разворот трассы без дополнительных отводов. |
| Сильфон вакуумный KF-40, 2000 мм, прямой | ВН-KF-40-2000-П | KF | 40 | 2000 | П | Линии к вакуумным камерам среднего объема. |
| Сильфон вакуумный KF-50, 250 мм, прямой | ВН-KF-50-250-П | KF | 50 | 250 | П | Высокая проводимость при компактной компоновке. |
| Сильфон вакуумный KF-50, 500 мм, угловой | ВН-KF-50-500-У | KF | 50 | 500 | У | Подключение к боковым портам больших камер. |
| Сильфон вакуумный KF-50, 1000 мм, прямой | ВН-KF-50-1000-П | KF | 50 | 1000 | П | Магистрали с повышенной быстротой действия. |
| Сильфон вакуумный KF-50, 2000 мм, угловой | ВН-KF-50-2000-У | KF | 50 | 2000 | У | Оптимизация трассы при ограничениях по месту. |
| Сильфон вакуумный KF-50, 3000 мм, прямой | ВН-KF-50-3000-П | KF | 50 | 3000 | П | Длинная линия с высокой проводимостью. |
| Сильфон вакуумный KF-50, 4000 мм, угловой | ВН-KF-50-4000-У | KF | 50 | 4000 | У | Протяженные трассы с поворотом к оборудованию. |