Вакуумная арматура. Затворы серии CC, CCD и CCQ для сверхвысокого вакуума

Вакуумные затворы с ручным, электрическим и пневматическим приводом серии CC/CCD/CCQ предназначены для установки в состав высоковакуумных и сверхвысоковакуумных линий, где требуется гарантированное перекрытие потока и сохранение герметичности системы на уровне 1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с. Конструкция затворов разработана на основе классической схемы ультратонких лепестковых клапанов и адаптирована под фланцевые соединения CF, ISO-F и ISO-K, что обеспечивает совместимость с типовыми вакуумными постами, испытательными камерами и магистралями перекачки. Благодаря сочетанию нержавеющей стали 304 в корпусе и 316L в приводном узле, а также применению фторкаучукового уплотнения с низкой газопроницаемостью, затворы сохраняют работоспособность при циклической эксплуатации и выдерживают температурный отжиг до 150 °C.

Основной областью применения данных затворов являются системы сверхвысокого вакуума в составе установок напыления, плазмохимических и ионно-лучевых комплексов, исследовательские стенды, линии откачки и распределения гелия, стенды контроля герметичности, а также вакуумные камеры, в которых требуется частое переключение потоков при неизменности уровня утечек. В отличие от классических поворотных и ножевых клапанов, серия CC имеет малую строительную длину и малую массу, что упрощает монтаж на вертикальных и наклонных участках вакуумопровода и позволяет выдерживать требование «установочное положение — любое».

Вакуумные затворы с ручным приводом серии CC

Ручные затворы серии CC предназначены для случаев, когда переключение потока выполняет оператор и не требуется автоматизация. Приводной механизм выполнен в виде сварного мембранного узла из стали 316L, исключающего подсос атмосферного воздуха по штоку. Герметизация клапанной пластины выполнена фторированной резиной, подобранной по критерию низкой газопроницаемости, что позволяет использовать затворы в диапазоне давлений от 10⁵ до 10⁻⁷ Па без ухудшения параметров.

Вакуумные затворы с электрическим приводом серии CCD

Электрически управляемые затворы CCD являются прямым развитием ручной серии и применяются в автоматизированных вакуумных линиях, в том числе в линиях, где используется последовательный или каскадный пуск турбомолекулярных насосов и требуется передача сигнала о положении клапана в систему управления. Привод рассчитан на рабочее давление привода 0,3–0,7 МПа (в зависимости от типоразмера), имеет тактильный или концевой переключатель для индикации положения и допускает отжиг до 150 °C. Диапазон давлений для рабочей среды аналогичен ручной серии: от 10⁵ до 10⁻⁷ Па при максимально допустимой утечке не хуже 1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с.

Вакуумные затворы с пневмоприводом серии CCQ

Пневматические затворы CCQ предназначены для систем, где требуется высокая скорость срабатывания и частое переключение, например, в вакуумных технологических линиях, испытательных стендах и гелиевых установках серийного контроля. Привод работает от сжатого воздуха 0,3–0,7 МПа и оснащён магнитной индикацией положения. Как и ручная серия, пневмозатворы рассчитаны на установку в любом пространственном положении и сохраняют герметичность на уровне 1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с в диапазоне 10⁵ – 10⁻⁷ Па.

Дополнительные элементы вакуумной арматуры

Помимо затворов серий CC/CCD/CCQ в типовые вакуумные системы входят угловые и блокирующие клапаны, воротниковые затворы, ручные и электромагнитные клапаны, а также гибкие вакуумные сильфоны. Компания «Ликлаб» изготавливает сильфоны из нержавеющей стали с фланцами KF и ISO и проводит 100%-ную проверку на герметичность на масс-спектрометрическом течеискателе по способу обдува гелием, что обеспечивает гарантированный уровень утечки не хуже, чем у устанавливаемой арматуры. При подборе сильфонов учитывается требование проводимости: её значение должно быть не ниже быстроты откачки применяемых вакуумных насосов.

Все представленные типы вакуумных затворов ориентированы на работу с воздухом и неагрессивными газами, допускают прогрев корпуса до 150 °C и могут устанавливаться в составе сверхвысоковакуумных установок научных и промышленных предприятий.