Откачной пост KYKY FJ-700

Откачной пост KYKY FJ-700 представляет собой высоковакуумную станцию промышленного типоразмера, предназначенную для быстрого получения давления порядка 5×10⁻⁵ Па в камерах среднего и большого объёма. Пост выполнен по классической двухступенчатой схеме с форвакуумным насосом RV-6 и турбомолекулярным насосом F-160/700, что обеспечивает устойчивый запуск, воспроизводимость параметров и возможность работы при переменной газовой нагрузке. Наличие встроенного комбинированного вакуумметра ZDF-11B5 позволяет контролировать давление в широком диапазоне без внешней вакуумметрии и использовать модуль как самостоятельный источник высокого вакуума.

Турбомолекулярная ступень развивает быстроту откачки 700 л/с по азоту, 680 л/с по аргону, 580 л/с по гелию и 260 л/с по водороду при степенях сжатия, достаточных для поддержания низкого фонового уровня лёгких газов. Это делает FJ-700 пригодным для гелиевых течеискательных стендов, вакуумных испытаний изделий большого объёма, плазменных и напылительных процессов, а также для откачки камер поверхностного анализа и ускорительных установок. Для защиты турбомолекулярной части запуск разрешается контроллером TCDP-II только после достижения форвакуумом безопасного давления, а при аварийных режимах линия автоматически перекрывается запорной арматурой.

Пост рассчитан на обязательное водяное охлаждение турбомолекулярного насоса с расходом более 1 л/мин при температуре воды не выше 25 °C. Такой режим обеспечивает стабильность теплового состояния и ресурс подшипникового узла при длительной непрерывной работе и при откачке газонасыщенных объёмов. Электропитание выполнено от трёхфазной сети 380 В, 50 Гц, что соответствует суммарной мощности насосной группы и промышленным условиям эксплуатации. Входной фланец DN150 CF или ISO-K позволяет подключать пост к камерам большого сечения с минимальными потерями проводимости, выход DN40 ISO-KF используется для форвакуумной магистрали и сервисных подключений.

Технические характеристики

KYKY FJ-700 является оптимальным модулем для стендов и установок, где критичны высокая скорость набора вакуума, устойчивость к напускам газа и низкий фон по гелию при серийных испытаниях на герметичность и технологических циклах.