Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3001 (2950 л/с, 1×10⁻⁷ Па)

Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3001 относится к серии высокопроизводительных агрегатов с активной магнитной подвеской ротора и предназначен для вакуумных систем большого объёма. Насос обеспечивает быстроту откачки до 2950 л/с по азоту и работу вплоть до уровня 1×10⁻⁷ Па, что делает его пригодным для плазмохимических установок, больших камер напыления, производства оптоэлектронных структур и технологических линий с высокой газовой нагрузкой.

Конструкция включает ротор композитного исполнения с управляемой электромагнитной подвеской. Ротор левитирует без механического контакта, что исключает износ и смазку, снижает вибрации и обеспечивает стабильную работу при скорости 21 000 об/мин. Газообмываемые элементы имеют коррозионностойкое покрытие, допускается работа с технологическими и слабоагрессивными газами при подаче барьерного азота через порт KF10.

Насос рассчитан на обязательное водяное охлаждение с расходом не менее 3 л/мин при температуре 10–25 °C. Встроенный тепловой контроль предотвращает конденсацию продуктов процесса и поддерживает режим работы при длительных циклах. Допускается форвакуумное давление до 2100 Па.

Краткие характеристики

Модель CXF-320/3001 предназначена для крупных вакуумных камер, высокопроизводительных линий напыления и плазмохимических процессов. Отсутствие смазки, высокая устойчивость к газовым нагрузкам и низкая вибрация обеспечивают стабильность процесса и долговечность узлов. Сервисная поддержка в России выполняется лабораторией «Ликлаб».