Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2302 (2360 л/с, 1×10⁻⁸ Па)

Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2302 относится к линейке высокопроизводительных агрегатов с активной магнитной подвеской ротора. Насос обеспечивает быстроту откачки до 2360 л/с по азоту и достижение остаточного давления 1×10⁻⁸ Па, что делает его подходящим для крупногабаритных технологических и аналитических вакуумных систем.

Конструкция основана на роторе из алюминиевого сплава и углеродного волокна, вращающемся на электромагнитных подшипниках без механического контакта. Система управления CXF-2302 стабилизирует положение ротора по пяти осям и регулирует тепловой режим. Насос рассчитан на эксплуатацию в технологических процессах с высокой газовой нагрузкой, включая PVD/CVD, плазмохимическое травление, вакуумную металлургию и испытательные стенды.

Внутренние элементы имеют коррозионностойкое покрытие, допускается работа с агрессивными газами при подаче барьерного азота (до 50 см³/мин). Охлаждение — водяное, расход не менее 3 л/мин. Допустимое форвакуумное давление до 1500 Па обеспечивает совместимость с промышленными предвакуумными агрегатами.

Краткие характеристики

CXF-250/2302 предназначен для процессов, требующих высокой производительности при переменной газовой нагрузке. Насос характеризуется низкой вибрацией, отсутствием масла в рабочем объёме и высокой степенью сжатия, что обеспечивает стабильность вакуума и чистоту технологических циклов.