Турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1402 на магнитной подвеске — модификация с увеличенной производительностью для чистых производств.
Описание
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1402 с активной магнитной подвеской
KYKY CXF-200/1402 — высоковакуумный турбомолекулярный насос с активной магнитной левитацией ротора, предназначенный для безмасляной откачки технологических и аналитических систем. Магнитная подвеска устраняет механический износ и смазку, снижает вибрации и обеспечивает стабильную работу при переменной газовой нагрузке, что особенно важно для полупроводниковых процессов, PVD/CVD и плазменного травления.
Насос развивает быстроту откачки 1400 л/с по N2 и характеризуется улучшенной производительностью по лёгким газам по сравнению с CXF-200/1401. Предельное давление достигает 1×10−8 Па при металлических уплотнениях. Эксплуатация требует корректного форвакуума до 1200 Па и обязательного водяного охлаждения; для агрессивных газов предусматривается барьерная продувка азотом через порт KF10.
Краткие характеристики
| Входной фланец | DN200 ISO-F (варианты ICF/LF) |
| Выхлоп | KF40 |
| Быстрота по N2 | 1400 л/с |
| Быстрота по He | 1100 л/с |
| Предельное давление | 1×10−7 Па (FKM) / 1×10−8 Па (металл) |
| Макс. форвакуум (непрерывно) | 1200 Па |
| Охлаждение | водяное, ≥2 л/мин, 10–25 °C |
| Скорость ротора | 33 000 об/мин |
| Масса | ≈51 кг |
CXF-200/1402 применяют в высокочистых вакуумных линиях микроэлектроники, установках напыления и травления, а также в высокочувствительных масс-спектрометрических и течеискательных комплексах, где критичны отсутствие масляного фона и минимальная вибрация.