Вакуумные шиберные затворы KYKY CCQ с пневмоприводом — быстрые исполнительные клапаны для технологических вакуумных систем.
Описание
Вакуумные затворы с электрическим приводом серии CCD
Вакуумные затворы серии CCD предназначены для автоматизированного перекрытия вакуумных магистралей в диапазоне давлений от атмосферного уровня до 10−7 Па. Конструкция основана на плоском запорном элементе с мембранным приводом, исключающим вывод штока в атмосферу. Корпус выполнен из нержавеющей стали 304, приводной мембранный узел — из 316L, что обеспечивает низкое газовыделение и стабильную работу при вакуумном прогреве.
Электрический привод обеспечивает повторяемое открытие и закрытие, что важно для автоматизированных откачных постов, установок напыления и систем гелиевого течеискания. Индикация крайних положений реализована концевыми переключателями, позволяющими организовать технологические блокировки и защиту турбомолекулярных насосов.
Затворы подходят для применения в UHV-системах, измерительных стендах и установках, где требуется низкий фоновый уровень утечки — не более 1,3×10−10 Па·м³/с. Номинальные диаметры охватывают диапазон DN35–DN400, присоединение выполняется по стандартам CF, ISO-F и ISO-K. Допустимый прогрев — до 150 °C в открытом положении и до 120 °C в закрытом.
Компактная конструкция позволяет устанавливать затворы в любом пространственном положении, включая ограниченные монтажные зоны. Благодаря низкой газопроницаемости уплотнений они не ухудшают предельное давление вакуумной системы и могут применяться в составе установок, работающих по ГОСТ Р 50.05.01-2018 и ISO 20485.
Основные характеристики серии
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазон давлений | 105 – 10−7 Па |
| Максимальная утечка | ≤1,3×10−10 Па·м³/с |
| Номинальные диаметры | DN35 – DN400 |
| Присоединения | CF / ISO-F / ISO-K |
| Тип привода | электрический, мембранный |
| Индикация | концевые переключатели |
| Температура прогрева | 150 °C (открыт) / 120 °C (закрыт) |
| Монтаж | любое положение |