Вакуумные затворы с электрическим приводом серии CCD

Вакуумные затворы серии CCD предназначены для высоковакуумных и сверхвысоковакуумных установок, где требуется автоматизированное перекрытие магистрали с минимальным уровнем собственных утечек. По конструктивной схеме это тонкопрофильные плоские затворы на мембранном приводе, развивающие усилие без вывода штока в атмосферу. Корпус и запорная часть изготовлены из нержавеющей стали 304, мембранный сварной узел привода выполнен из 316L, что обеспечивает низкое газовыделение и стойкость к вакуумному прогреву.

Электропривод обеспечивает повторяемый цикл «открыто–закрыто» и позволяет включать затворы в алгоритмы управления откачными постами, линиями напыления, плазменными и ускорительными установками, а также стендами гелиевого течеискания. Встроенная индикация положения реализована концевыми переключателями, выдающими сигнал о достижении крайних положений. Это обеспечивает межблокировки запуска турбомолекулярных насосов и повышает безопасность вакуумной системы при аварийных режимах.

Затворы рассчитаны на работу в диапазоне давлений от атмосферного до 10⁻⁷ Па, при этом максимальная утечка не превышает 1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с, что допускает их применение в UHV-линейках и в измерительных камерах с контролем фонового гелия. Присоединение выполняется по фланцам CF, ISO-F или ISO-K, номинальные диаметры охватывают DN35–DN400. Допустимый прогрев составляет до 150 °C при открытом затворе и до 120 °C при закрытом, что позволяет дегазировать арматуру перед высокочувствительными испытаниями.

Компактная строительная высота и жесткий корпус дают возможность устанавливать CCD-затворы в ограниченных нишах, на крышках камер и в вертикальных участках трасс без требования к ориентации. В системах контроля герметичности такие затворы не ухудшают предельное давление и не вносят дополнительного фонового сигнала, поэтому применимы в составе установок, работающих по ГОСТ Р 50.05.01-2018 и ISO 20485.

Основные характеристики серии