CCD-тип сверхвысоковакуумного электрического шиберного затвора

Сверхвысоковакуумные шиберные затворы серии CCD применяются в установках большого условного прохода, где требуется высокая жёсткость конструкции, минимальная утечка и дистанционное управление. Затворы рассчитаны для работы в диапазоне давлений 10⁵–10⁻⁶ Па и подходят для вакуумных камер, линий плазменной обработки, загрузочных шлюзов и технологических комплексов с проходами до DN1250.

Конструкция выполнена по схеме плоской шиберной створки, перемещающейся по направляющим и прижимающейся по периметру через эластомерное уплотнение. Корпус из коррозионностойкой стали обеспечивает стабильность геометрии при прогреве, а встроенный магнитный датчик фиксирует положения «открыто» и «закрыто» для интеграции в автоматические системы.

Исполнительный привод — пневматический (0,6–0,7 МПа) с электрическим управлением. Это обеспечивает необходимое усилие при работе с крупными диаметрами и гарантированную повторяемость циклов. Допускается прогрев до 150 °C в открытом состоянии и до 120 °C в закрытом, что важно для дегазации оборудования. Присоединение по фланцу ISO-F.

Основные параметры

Применение

Затворы CCD используются в крупных вакуумных печах, системах нанесения покрытий на листовые материалы, больших плазменных установках, многокамерных технологических линиях и испытательных комплексах. Высокая герметичность и отсутствие вибраций позволяют применять их в чувствительных измерительных трактах и в составе систем контроля герметичности.