Автоматический регулирующий вакуумный шибер APC — клапан для точного поддержания заданного давления.
Описание
Автоматический регулирующий вакуумный шиберный затвор APC
Регулирующий шиберный затвор APC используется в вакуумных системах, где требуется поддерживать заданное давление за счёт плавного изменения проводимости магистрали между камерой и насосом. В отличие от стандартных «открыто/закрыто» клапанов, пластина APC работает как регулирующий орган, обеспечивая стабильное давление в диапазоне 1×10⁵–1×10⁻⁶ Па без колебаний и перерегулирования.
Встроенный контроллер выполняет самообучение: определяет объём камеры, реальный приток газа и динамику насоса, после чего автоматически формирует параметры регулирования. По сигналу вакуумметра 0–10 V контроллер вычисляет требуемое положение пластины и управляет пневмоприводом с точностью ±0,1 % FS. Доступны два режима — регулирование давления и позиционное управление.
Клапан выполнен в интегрированном исполнении: корпус CF/ISO-F, шибер, привод, индикация и электронный блок находятся в одном модуле. Это снижает количество соединений и повышает помехоустойчивость. Питание контроллера — DC 24 V. Допускается вакуумный прогрев до 150 °C (контроллер до 50 °C).
Технические характеристики
| Модель | DN | Фланец | Диапазон | Утечка | ΔP | Прогрев | Точность | Сигнал датчика | Питание | Масса |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CCD-100DZ/ZM | 100 | CF / ISO-F | 1×10⁵–1×10⁻⁶ Па | ≤1,3×10⁻¹⁰ | <3000 Па | 150 / 50 °C | ±0,1 % | 0–10 V | 24 V DC | ≈16 кг |
| CCD-150DZ/ZM | 150 | CF / ISO-F | 1×10⁵–1×10⁻⁶ Па | ≤1,3×10⁻¹⁰ | <3000 Па | 150 / 50 °C | ±0,1 % | 0–10 V | 24 V DC | ≈27 кг |
| CCD-200DZ/ZM | 200 | CF / ISO-F | 1×10⁵–1×10⁻⁶ Па | ≤1,3×10⁻¹⁰ | <3000 Па | 150 / 50 °C | ±0,1 % | 0–10 V | 24 V DC | ≈37 кг |
| CCD-250DZ/ZM | 250 | CF / ISO-F | 1×10⁵–1×10⁻⁶ Па | ≤1,3×10⁻¹⁰ | <3000 Па | 150 / 50 °C | ±0,1 % | 0–10 V | 24 V DC | ≈53 кг |
Область применения
APC-затворы используются в процессах напыления, плазменной обработки, IC-производстве, системах с низкими притоками газа и во всех технологиях, где требуются стабильные параметры вакуума. В отличие от обычных клапанов, APC обеспечивает гладкую регулировочную характеристику и позволяет точно удерживать рабочее давление камеры.