Откачной пост KYKY FJ-620

Откачной пост KYKY FJ-620 является высокопроизводительной вакуумной станцией, выполненной по классической схеме «форвакуумный насос + турбомолекулярный насос». Модуль предназначен для быстрого получения высокого вакуума в камерах среднего и большого объёма при значительной газовой нагрузке. Номинальная быстрота откачки турбомолекулярной ступени составляет до 600 л/с по азоту и до 580 л/с по аргону, что обеспечивает сокращение времени цикла вакуумирования и устойчивую работу в технологических режимах с напуском газа.

Высоковакуумная часть построена на турбомолекулярном насосе с входным фланцем DN150 CF либо DN150 ISO-K. Скорость откачки по гелию достигает 380 л/с, по водороду 240 л/с, степень сжатия по азоту и аргону порядка 10⁹, по гелию 10⁵, по водороду 10⁴. Такие параметры позволяют эффективно выводить лёгкие газы и поддерживать низкий фон при гелиевом течеискании и вакуумных испытаниях изделий с развитой поверхностью. Предельное давление поста при корректной подготовке системы не хуже 5×10⁻⁵ Па.

Форвакуумная ступень базово выполнена на масляном пластинчато-роторном насосе RV-6, который обеспечивает давление порядка 100 Па перед запуском турбомолекулярного насоса и достаточный запас по производительности для длинных магистралей и загрязнённых объёмов. Запорная арматура и защитные устройства исключают обратный напуск атмосферы в высоковакуумную часть при отключении питания или аварийной остановке.

Пост допускает воздушное охлаждение в диапазоне +5…+32 °C и водяное охлаждение для тяжёлых режимов с расходом воды более 1 л/мин при температуре до 25 °C. Контроль давления и охлаждения реализован штатным контроллером TCDP-II, который обеспечивает задержку запуска турбомолекулярной ступени до достижения безопасного форвакуума и автоматическую защиту при нарушении режимов.

Питание поста рассчитано на трёхфазную сеть 380 В, 50 Гц, что соответствует суммарной мощности насосной группы. Вертикальная компоновка на жёсткой раме обеспечивает удобство размещения рядом с камерой и достаточную виброустойчивость. По назначению FJ-620 применяется в установках гелиевого течеискания с вакуумной камерой, плазмохимических и ионных технологиях, в системах анализа поверхности, а также при вакуумировании изоляционных полостей криогенных резервуаров.

Технические характеристики

KYKY FJ-620 является рациональным выбором для вакуумных систем, где требуется высокая быстрота откачки, устойчивость к напускам газа и воспроизводимые параметры при работе с гелием. Наличие штатного управления, стандартных присоединений DN150 и двух вариантов охлаждения упрощает интеграцию поста в технологические линии и стенды контроля герметичности.