Турбомолекулярный откачной пост KYKY FJ-150 — пост откачки для технологических задач с повышенными требованиями.
Описание
Откачной пост KYKY FJ-150
Откачной пост KYKY FJ-150 относится к компактным высоковакуумным станциям, рассчитанным на получение и поддержание вакуума до 5×10⁻⁵ Па в лабораторных и технологических установках. Конструкция выполнена по классической схеме с последовательной работой форвакуумного и турбомолекулярного насосов, что обеспечивает устойчивый запуск, стабильность параметров и работоспособность при переменных газовых нагрузках. Пост смонтирован на вертикальной раме 500×510×840 мм, оборудован воздушным охлаждением и не требует подключения к водяному контуру.
Высоковакуумная ступень обеспечивает быстроту откачки 140 л/с по азоту, 130 л/с по гелию, 75 л/с по водороду и 145 л/с по аргону. Степень сжатия составляет 10⁷ по азоту и аргону, 6×10³ по гелию и 10³ по водороду. Эти параметры позволяют применять FJ-150 как в системах течеискания, так и в установках анализа поверхности, плазменной обработке и при работе с электронно-оптическим оборудованием. Форвакуумная ступень на базе RV-4 обеспечивает достижение давления менее 10 Па для запуска турбомолекулярного насоса и стабильность дальнейшей работы.
Управление постом реализовано через контроллер TCP-100. Он формирует последовательность запуска, контролирует давление и обеспечивает автоматическое перекрытие линии электромагнитным клапаном при отключении питания. Входной и выходной фланцы выполнены в стандарте DN25 ISO-KF, что упрощает подключение к лабораторным камерам и измерительным системам. Возможна комплектация переходниками на DN40 или DN63.
Пост применяется в течеискательных установках, в вакуумных камерах малого объема, в загрузочных шлюзах, в системах плазменной и ионно-плазменной обработки, а также при испытаниях на герметичность по ГОСТ Р 50.05.01-2018. Высокая производительность по аргону делает FJ-150 удобным для процессов нанесения покрытий.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Скорость откачки по N₂ | 140 л/с |
| Скорость откачки по He | 130 л/с |
| Скорость откачки по H₂ | 75 л/с |
| Скорость откачки по Ar | 145 л/с |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | 1×10⁷ |
| Степень сжатия по He | 6×10³ |
| Степень сжатия по H₂ | 1×10³ |
| Предельное давление | ≤ 5×10⁻⁵ Па |
| Форвакуумный насос | RV-4 |
| Входной / выходной фланец | DN25 ISO-KF |
| Охлаждение | воздушное |
| Питание | AC 220 В ±20 %, 50 Гц |
| Температура окружающей среды | +5…+32 °C |
| Контроллер | TCP-100 |
| Габариты | 500×510×840 мм |
| Масса | ≈ 52 кг |
Откачной пост KYKY FJ-150 служит универсальным высоковакуумным модулем, который может использоваться как самостоятельная станция или как элемент комплексных систем контроля герметичности и вакуумирования. Воздушное охлаждение, стабильные параметры и удобство интеграции позволяют применять его в установках лаборатории «Ликлаб» и в технических системах заказчиков без доработки основной инфраструктуры.