Турбомолекулярный откачной пост KYKY FJ-110 — станция для получения стабильного высокого вакуума.
Описание
Откачной пост KYKY FJ-110
Откачной пост KYKY FJ-110 выполнен как компактная высоковакуумная станция на базе последовательного включения форвакуумного и турбомолекулярного насосов. Пост предназначен для получения и поддержания высокого вакуума в лабораторных и производственных установках малого и среднего объема, включая течеискательные стенды, аналитические камеры и установки нанесения покрытий. Типовая схема работы предусматривает предварительную откачку механическим насосом до порядка сотен паскалей и последующий разгон турбомолекулярной ступени до рабочего диапазона высоких вакуумов, что обеспечивает устойчивость режима при переменной газовой нагрузке.
Высоковакуумная ступень поста обладает быстротой откачки по азоту 110 л/с и близкими значениями по гелию и аргону, что делает FJ-110 пригодным для систем, где присутствуют легкие и инертные газы, в том числе при гелиевом течеискания и плазменных процессах. Форвакуумная часть в стандартном исполнении построена на насосе RV-4 и обеспечивает давление, достаточное для автоматического включения турбомолекулярного насоса. Управление выполнено через контроллер FD-110B с задержкой запуска по давлению, контролем питания, охлаждения и выдачей аварийных сигналов, что упрощает интеграцию поста в внешние установки и АСУ ТП.
Пост допускает эксплуатацию как на воздушном охлаждении при нормальной вентиляции и температуре окружающей среды, так и на водяном охлаждении при длительных циклах откачки или установке в замкнутых шкафах. Переключение режима охлаждения не требует изменения вакуумной части и определяется условиями тепловой нагрузки. Присоединение к вакуумируемому объему выполняется через входной фланец DN100 CF или DN100 ISO-K, выход — DN25 ISO-KF, что обеспечивает совместимость со стандартной вакуумной арматурой.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота откачки по N₂ | 110 л/с |
| Предельный вакуум | ≤ 5×10⁻⁵ Па |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | ≥ 1×10⁸ |
| Степень сжатия по He / H₂ | ≥ 1×10² |
| Форвакуумный насос | RV-4 (стандарт) |
| Входной фланец | DN100 CF или DN100 ISO-K |
| Выходной фланец | DN25 ISO-KF |
| Охлаждение | воздушное или водяное |
| Контроллер | FD-110B |
| Питание | AC 220 В, 50 Гц |
| Габариты, масса | 500×510×840 мм, около 52 кг |
Откачной пост KYKY FJ-110 является готовым высоковакуумным модулем для задач, где требуется воспроизводимый вакуум при минимальной пусконаладке и стандартных требованиях к сервису. Наличие двух вариантов охлаждения и автоматизированного управления позволяет использовать пост как в стационарных лабораторных установках, так и в производственных стендах с длительными циклами вакуумирования.