Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002 на магнитной подвеске — высокопроизводительный насос с расширенной пропускной способностью.
Описание
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002 (3260 л/с, 1×10⁻⁸ Па)
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002 представляет собой старшую модель линейки CXF с активной магнитной подвеской и предназначен для систем, работающих в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума. Насос обеспечивает быстроту откачки по азоту 3260 л/с и достижение предельного давления 1×10⁻⁸ Па при полном отсутствии масла в рабочем объёме. Высокая устойчивость к газовым нагрузкам делает его эффективным решением для полупроводниковых процессов, плазмохимических установок, комплексов напыления и научных вакуумных систем.
В конструкции используется активная магнитная подвеска по пяти степеням свободы. Ротор полностью левитирует, не соприкасаясь с корпусом, что устраняет износ, обеспечивает минимальные вибрации и позволяет эксплуатировать насос в непрерывном режиме. Композитный ротор из алюминиевого сплава и углеволокна обладает высокой жёсткостью и малой массой, что повышает устойчивость вращения.
Конструктивные особенности
CXF-320/3002 оснащён многоступенчатым ротором с оптимизированным профилем лопаток, обеспечивающим эффективную откачку как тяжёлых газов (Ar, CO₂), так и лёгких (He, H₂). Газонапряжённые элементы имеют антикоррозионное покрытие, допускается работа с агрессивными газами при обязательной подаче барьерного азота 50 см³/мин через порт KF10.
Насос рассчитан на водяное охлаждение с расходом не менее 3 л/мин при температуре 10–25 °C. Контроллер CXF-3002 управляет тепловым режимом и предотвращает перегрев магнитных подшипников, а встроенный подогрев исключает осаждение продуктов процессов.
Эксплуатационные данные
CXF-320/3002 допускает непрерывную работу при форвакуумном давлении до 2400 Па, обеспечивая степень сжатия по N₂/Ar выше 1×10⁹ и по He выше 1×10⁴. Насос управляется промышленным контроллером CXF-3002, обеспечивающим запуск, стабилизацию оборотов, диагностику и аварийную защиту.
Интеграция в систему
Входной фланец DN320 ISO-F позволяет устанавливать насос на камеры большого объёма, используемые в линиях PVD/CVD, магнетронном напылении и исследовательских комплексах. Выхлопной патрубок KF40 обеспечивает совместимость с типовыми предвакуумными насосами. Питание возможно от сети 220 В или 110 В, монтаж допускается в любом положении.
Технические характеристики
| Тип | Турбомолекулярный насос с активной магнитной подвеской |
| Входной фланец | DN320 ISO-F |
| Выхлопной фланец | KF40 |
| Быстрота откачки по N₂ | 3260 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | 2900 л/с |
| Быстрота откачки по He | 2550 л/с |
| Быстрота откачки по H₂ | 1730 л/с |
| Степень сжатия по N₂/Ar | >1×10⁹ |
| Степень сжатия по He | >1×10⁴ |
| Степень сжатия по H₂ | >1×10³ |
| Предельное давление (Viton) | 1×10⁻⁷ Па |
| Предельное давление (металл) | 1×10⁻⁸ Па |
| Максимальное форвакуумное давление | 2400 Па |
| Порт защитного газа | KF10 |
| Расход защитного газа | 50 см³/мин N₂ |
| Скорость ротора | 24 000 об/мин |
| Время запуска | ≤ 10 мин |
| Время останова | ≤ 14 мин |
| Охлаждение | водяное, ≥3 л/мин, 10–25 °C |
| Питание | AC 220 В / AC 110 В |
| Контроллер | CXF-3002 |
| Монтажное положение | любое |
| Масса | 76 кг |
Преимущества модели
CXF-320/3002 обеспечивает максимальную производительность в своём классе, сочетая сверхвысокую степень сжатия, полную безмасляность, низкую вибрацию и длительный ресурс. Система магнитной подвески обеспечивает стабильность работы при переменных газовых нагрузках. Насос подходит для наиболее требовательных процессов, где важны чистота вакуума и воспроизводимость параметров.
Техническое обслуживание, диагностика и восстановление насосов KYKY серии CXF выполняются лабораторией «Ликлаб» в России с полным соблюдением заводских процедур.