Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2301 (2150 л/с, 1×10⁻⁸ Па)

Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2301 относится к классу высокопроизводительных агрегатов с активной магнитной подвеской ротора. Насос обеспечивает быстроту откачки до 2150 л/с по азоту и достижение остаточного давления уровня 1×10⁻⁸ Па, что делает его пригодным для крупногабаритных технологических камер, магнетронных систем, установок CVD/PVD и плазмохимического травления.

В конструкции используется магнитная левитация с замкнутым контуром управления. Ротор удерживается электромагнитными подшипниками без механического контакта, что исключает трение, снижает вибрации и устраняет необходимость в смазке. Цифровой контроллер CXF-2301 обеспечивает разгон, стабилизацию и защиту по параметрам, включая газовую нагрузку и температурный режим.

Ротор изготовлен из легкого сплава и углеродного волокна, что снижает массу вращающейся системы и позволяет работать на скорости до 27 000 об/мин. Все газонапряжённые элементы имеют антикоррозионное покрытие и допускают использование фтор- и хлорсодержащих газов при обязательной подаче барьерного азота через порт KF10 с расходом до 50 см³/мин. Насос оснащён водяным охлаждением с расходом не менее 3 л/мин.

Краткие характеристики

CXF-250/2301 применяется в процессах напыления, травления, высокотемпературной обработки, а также в крупных аналитических установках, где требуется чистый, стабильный и безмасляный высоковакуумный режим. Активная магнитная подвеска обеспечивает низкие вибрации и длительную наработку без обслуживания.