Турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401 на магнитной подвеске — высоконадежный насос сверхвысокого вакуума с бесконтактной опорой ротора.
Описание
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401 с магнитной подвеской
KYKY CXF-200/1401 — высокопроизводительный турбомолекулярный насос с активной магнитной подвеской ротора для безмасляной откачки высоковакуумных систем. Отсутствие механического контакта в опорах исключает износ и загрязнение вакуумного объёма, снижает вибрации и обеспечивает длительную непрерывную работу в технологических и аналитических установках.
Насос развивает быстроту откачки до 1280 л/с по азоту и рассчитан на получение предельного давления до 1×10−8 Па при металлических уплотнениях. Рабочий диапазон поддерживается при корректно выбранном форвакуумном агрегате и обязательном водяном охлаждении; контроллер магнитной подвески автоматически удерживает ротор в устойчивом положении при изменении газовой нагрузки и температурного режима.
Краткие характеристики
| Входной фланец | DN200 ISO-F (варианты ICF/LF) |
| Выхлоп | KF40 |
| Быстрота по N2 | 1280 л/с |
| Быстрота по He | 880 л/с |
| Предельное давление | 1×10−7 Па (FKM) / 1×10−8 Па (металл) |
| Допустимое форвакуумное давление | до 1100 Па |
| Охлаждение | водяное, не менее 2 л/мин, 10–25 °C |
| Масса | ≈51 кг |
CXF-200/1401 применяется в установках CVD/PVD, плазменного травления, вакуумно-ионных процессах, в полупроводниковой промышленности и научных системах, где критичны чистота вакуумной среды, низкий фон лёгких газов и минимальная вибрация. Интеграция выполняется через внешний контроллер CXF-1401 с удалённым мониторингом и блокировками по параметрам вакуума и охлаждения.