Магниторазрядный насос ЗL-50 — насос для небольших вакуумных систем с высокими требованиями.
Описание
Магниторазрядный насос ZL-50
ZL-50 — ионный магниторазрядный насос для поддержания сверхвысокого вакуума в компактных научных и технологических системах. Конструкция ориентирована на минимальный собственный фон, устойчивый разряд и работу на токах микроамперного диапазона, что важно при интеграции в чувствительные приборные модули.
Характеристики
| Скорость откачки по N₂ | ≈ 55 л/с |
| Предельное давление | до 7×10⁻⁸ Па |
| Давление включения | ≤ 1×10⁻¹ Па |
| Bake-out | 200–250 °C, не менее 12 часов |
| Тип ячеек | диодная или триодная схема, катоды Ti |
Физические основы эффективности
Магнитное поле увеличивает длину пробега электронов и вероятность ионизации остаточного газа при пониженных давлениях. Благодаря этому ZL-50 поддерживает стабильный разряд в диапазоне 10⁻⁷–10⁻⁸ Па. Распыляемый титан формирует активную поверхность, эффективно связывающую активные газы; для инертных компонентов работает механизм ионного внедрения и последующего закрепления в структурах катодного материала.
Преимущества для приборостроения
Насос полностью безмасляный и не создаёт вибраций, что допускает монтаж на CF-порт непосредственно возле детекторов и фотоэмиссионных узлов. Низкая тепловая нагрузка на фланец важна для систем с малой температурной стабильностью. При скоростях порядка десятков л/с даже уменьшение длины соединительной линии на 50 % улучшает достигнутое давление на 10–20 %, поэтому ZL-50 рационален для компактных приборных трактов.
Практические рекомендации
Для включения требуется предварительная откачка турбомолекулярным или сухим насосом до уровня 10⁻¹ Па. Работа оценивается по стабильности тока источника питания — отсутствие всплесков свидетельствует о корректном режиме разряда. На этапе кондиционирования допускается кратковременное повышение напряжения в пределах допуска источника при контроле тока.