Магниторазрядный насос ЗL-25 — малый насос для лабораторных установок.
Описание
Магниторазрядный насос ZL-25
ZL-25 — компактный магниторазрядный насос для поддержания сверхвысокого вакуума в малых аналитических камерах. Конструкция рассчитана на устойчивый разряд при минимальных токах, что снижает тепловую нагрузку и повышает ресурс всей системы.
Паспортные характеристики
| Скорость откачки по N₂ | ≈ 21 л/с |
| Предельное давление | до 7×10⁻⁸ Па |
| Давление включения | ≤ 1×10⁻¹ Па |
| Рабочее напряжение | 5–7 кВ |
| Bake-out | до 250 °C при снятом питании |
Оптимизация для малых объёмов
В камерах объёмом 30–60 л основную газовую нагрузку формируют поверхностные потоки десорбции. Катодно-ионная структура с титановыми пластинами эффективно связывает эти остаточные газы, обеспечивая быстрый спад давления после bake-out. При аккуратной сборке и использовании металлических уплотнений скорости порядка 20 л/с достаточно для выхода ниже 10⁻⁷ Па без дополнительных насосных ступеней.
Эксплуатационные преимущества
ZL-25 не создаёт вибраций и не даёт обратной диффузии, поэтому его можно устанавливать непосредственно на CF-порт камеры. Низкое энергопотребление позволяет интегрировать насос в мобильные или термочувствительные стенды. При наличии триодных ячеек улучшается удержание инертных газов — критичный фактор для систем, где часто применяют аргон.
Пуск и кондиционирование
Для зажигания разряда требуется предварительная откачка турбомолекулярным или сухим насосом до уровня 10⁻¹ Па. После включения подкачка не нужна. Для достижения предельного давления обязательны bake-out, чистый монтаж и применение металлических уплотнений. При соблюдении этих условий ZL-25 обеспечивает стабильный режим сверхвысокого вакуума и длительную безотказную работу.