Магниторазрядный насос ЗL-100 — высокопроизводительный насос для экспериментальных комплексов.
Описание
Магниторазрядный насос ZL-100
ZL-100 — ионный магниторазрядный насос среднего класса, оптимизированный для поддержания сверхвысокого вакуума в точных научных и технологических установках. Титановая катодная система и переработанная геометрия магнитного поля обеспечивают устойчивый разряд при низких токах и минимальный фон газовыделения.
Паспортные данные
| Скорость откачки по N₂ | ≈ 110 л/с |
| Предельное давление | до 7×10⁻⁸ Па |
| Давление запуска | ≤ 1×10⁻¹ Па после предварительной откачки |
| Высокое напряжение | 5–7 кВ, с автоматикой стабилизации тока |
| Bake-out | до 250 °C (при отключённом источнике питания) |
| Катоды | Ti; возможна комбинация Ti/Zr для повышения ресурса |
Особенности работы
В UHV-области после термообработки основным компонентом остаточного газа становится водород, для которого ионные насосы обеспечивают максимально высокую удельную скорость захвата — титан эффективно поглощает H, формируя стабильную сорбционную плёнку. Для N₂ и CO характеристики близки к паспортным, а при наличии инертных газов полезна триодная конфигурация, уменьшающая вероятность возврата нейтрализованных атомов. Испытания на объёмах до 200 л показали стабильность давления ниже 10⁻⁷ Па при газовой нагрузке порядка 10⁻⁶ Па·л/с, что подтверждает достаточный запас по производительности ZL-100.
Инженерные преимущества
Работа без масел исключает загрязнение образцов в электронно-зондовой микроскопии и других аналитических методах. Отсутствие вибрации позволяет устанавливать насос непосредственно на CF-порт камеры. Электропотребление ограничивается током разряда и обычно составляет единицы ватт, что снижает тепловую нагрузку и упрощает интеграцию в компактные стенды.
Рекомендации по установке
ZL-100 применяют как поддерживающий насос после турбомолекулярной откачки в диапазоне рабочих объёмов 50–200 л. Для сохранения паспортной скорости необходима высокая проводимость тракта: минимальная длина соединительной линии, отношение длина/диаметр < 3, металлические CF-уплотнения и чистый монтаж. При запуске контролируют вольт-амперный режим и исключают длительную работу на предельном токе при повышенной газовой нагрузке.