Магниторазрядный насос 2L-400C (450 л/с, 1×10⁻⁸ Па)

Магниторазрядный насос 2L-400C относится к классу мощных безмасляных высоковакуумных агрегатов, предназначенных для получения стабильного и чистого вакуума в диапазоне до 1×10⁻⁸ Па. Диодная схема с титановыми катодами обеспечивает устойчивый разряд, а осаждённый титан активно связывает реакционноспособные компоненты газа. Насос работает в закрытом объёме и после выхода на режим не требует постоянной форвакуумной поддержки, что важно при длительных технологических циклах и эксплуатации крупногабаритных вакуумных камер.

Модель рассчитана на установки с повышенной газовой нагрузкой: системы напыления, ионные источники, исследовательские камеры большого объёма и стенды, где требуется низкий фон, отсутствие углеводородов и устойчивость к инертным газам. В сочетании с встроенным кожухом нагрева 2L-400C обеспечивает ускоренную дегазацию и сокращённое время выхода на рабочее давление.

Интеграция в проектах лаборатории Ликлаб

Лаборатория Ликлаб применяет 2L-400C в качестве завершающей ступени вакуумирования после турбомолекулярного насоса. Выполняются операции по термовакуумной подготовке, настройке ВВ-блока и контролю токов разряда, а также оформляются протоколы достигнутых параметров в соответствии с действующими методиками и требованиями ГОСТ Р 50.05.01-2018. Для проектов с высокой долей инертных газов используются режимы регенерации активного титана и карты сервисного прогрева.

Технические характеристики

Инженерные примечания по тяжёлым газам

Для линий с существенной долей инертных или тяжёлых газов рекомендуется минимизация длины и сопротивления соединительного тракта (короткий CF-канал), проведение ступенчатого прогрева камеры до 150–200 °C и периодическое восстановление титана. При переменной газовой нагрузке желательно контролировать токи разряда и использовать автоматические ограничения для предотвращения перегрузки катодной системы.