Магниторазрядный насос 2L-100 — насос средней производительности для исследовательских установок.
Описание
Магниторазрядный насос 2L-100
2L-100 — диодный ионный насос среднего типоразмера с быстротой 120 л/с по азоту. Насос обеспечивает достижение давления ≤7×10⁻⁸ Па за счёт устойчивого разряда и формирования активной титановой поверхности, эффективно поглощающей реакционноспособные компоненты остаточного газа.
Модель применяется в составе измерительных камер, аналитических установок, систем электронно-оптической диагностики и вакуумных стендов, где требуется стабильный UHV и отсутствие вибраций. В качестве поддерживающей ступени после турбомолекулярного насоса 2L-100 обеспечивает низкий фон и долгосрочную стабильность параметров.
Опыт лаборатории Ликлаб
Ликлаб выполняет приёмочный контроль насосов 2L-100, течеискание соединений, настройку ВВ-источника под фактическую газовую нагрузку камеры, а также обучение персонала по правилам прогрева и мониторингу токов разряда в рабочей точке.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота откачки по N₂ | 120 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | ≈12 л/с |
| Предельное давление | ≤7×10⁻⁸ Па |
| Стартовое давление | ≤5×10⁻⁴ Па |
| Присоединительный фланец | CF100 |
| Максимальная температура прогрева (с/без магнитов) | <200 °C / <300 °C |
| Нагревательный кожух | опционально |
| Блок питания | в комплекте |
| Габариты (ориентир) | ≈350×250×307 мм |
| Масса (ориентир) | ≈38 кг |
| Паспортный диапазон | 120 л/с, 7×10⁻⁸ Па |
Инженерные рекомендации
Для работы с тяжёлыми газами требуется минимизация сопротивления тракта: короткие CF-соединения, отсутствие «холодных» зон, стабильная температура камеры. Регулярная регенерация титанового покрытия прогревом повышает сорбционную активность и возвращает насос к паспортным параметрам.