Вакуумные шиберные затворы KYKY CC с ручным управлением — механические клапаны для перекрытия потоков в вакуумных линиях.
Описание
Вакуумные затворы с ручным приводом серии CC
Вакуумные затворы серии CC с ручным приводом представляют собой ультратонкие запорные устройства для высоко- и сверхвысоковакуумных систем. Они предназначены для монтажа в магистрали и на фланцевые вводы вакуумных камер в случаях, когда требуется надежное перекрытие потока при минимальном собственном газовыделении, низком фоне по утечкам и сохранении геометрии прохода. Конструкция основана на плоском запорном элементе с прямым ручным приводом и мембранным узлом передачи усилия, что обеспечивает герметичность привода без выхода штока в атмосферу и исключает подсос через сальниковые уплотнения.
Корпус и запорная часть выполняются из коррозионностойкой нержавеющей стали 304, а сварной мембранный объем привода изготовлен из стали 316L. Такое сочетание материалов допускает эксплуатацию в UHV-системах с вакуумным прогревом. Затворы выдерживают циклический отжиг до 150 °C во включенном состоянии и до 120 °C в выключенном, что позволяет эффективно удалять адсорбированную влагу и летучие компоненты перед высокочувствительными измерениями и течеисканием.
Герметизация запорной пластины осуществляется фторэластомерным уплотнением типа FKM (Viton) с низкой газовой проницаемостью. Это обеспечивает максимальную утечку не хуже 1,3×10−10 Па·м³/с при работе в диапазоне давлений от 105 до 10−7 Па. Мембранный привод исключает прямое сообщение вакуумной полости с атмосферой через шток, поэтому затворы серии CC подходят для систем, где критичны чистота вакуума и минимальный фоновый сигнал при работе с гелием.
Затворы применяются как запорные и переключающие элементы в сверхвысоковакуумных линиях, на входе и выходе камер, в откачных постах, измерительных и испытательных стендах. Они востребованы в установках напыления и ионно-плазменной обработки, в вакуумной диагностике и в системах контроля герметичности и течеискания, включая гелиевые методы. Рабочая среда — воздух и неагрессивные газы. Ручной привод обеспечивает простоту, воспроизводимость переключения и удобный визуальный контроль состояния.
Корпус затвора имеет минимальную толщину, что облегчает встраивание в существующие трассы без заметного увеличения длины магистрали. Монтаж допускается в любом пространственном положении, ориентация по гравитации не требуется. Переключение не создает значимых вибраций, а механическая индикация положения позволяет однозначно определить состояние «открыт/закрыт» без дополнительных датчиков.
Конструктивное исполнение и типоразмеры
Серия CC включает десять типоразмеров от DN35 до DN400. Для всех моделей доступны присоединения CF, ISO-F и ISO-K, что обеспечивает совместимость с типовыми вакуумными фланцами научных и промышленных установок. Рабочие параметры, диапазон давлений и допустимая утечка унифицированы по всей серии, что упрощает подбор затворов при проектировании систем с разнородными диаметрами.
| Модель | Присоединение | Номинальный диаметр | Диапазон применения, Па | Максимальная утечка, Па·м³/с | Привод | Индикация | Температура отжига, °C | Установочное положение |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CC-35B | CF / ISO-F / ISO-K | DN35 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
| CC-50B | CF / ISO-F / ISO-K | DN50 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
| CC-63B | CF / ISO-F / ISO-K | DN63 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
| CC-80A | CF / ISO-F / ISO-K | DN80 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
| CC-100A | CF / ISO-F / ISO-K | DN100 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
| CC-150A | CF / ISO-F / ISO-K | DN150 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
| CC-200A | CF / ISO-F / ISO-K | DN200 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
| CC-250A | CF / ISO-F / ISO-K | DN250 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
| CC-320B | CF / ISO-F / ISO-K | DN320 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
| CC-400B | CF / ISO-F / ISO-K | DN400 | 105 – 10−7 | ≤1,3×10−10 | ручной | механическая | вкл: 150, выкл: 120 | любое |
Особенности эксплуатации
Применение нержавеющих материалов и эластомерных уплотнений с низкой проницаемостью делает затворы серии CC пригодными для вакуумных установок, проходящих приемо-сдаточные и периодические испытания с использованием гелиевых течеискателей. Затвор не повышает фоновый сигнал и не ограничивает достижимый вакуум при корректной подготовке системы. Возможность прогрева до 150 °C позволяет снижать газовыделение корпуса и уплотнений перед высокочувствительными испытаниями.
Серия CC ориентирована на научные и промышленные UHV-системы, установки напыления и ионной обработки, а также на линии контроля герметичности, в том числе по ГОСТ Р 50.05.01-2018 и международным требованиям ISO. Унификация присоединений по CF и ISO облегчает замену и обслуживание затворов в составе действующих комплексов.