Высоковакуумный прямоугольный затвор GCQ — клапан для герметичного перекрытия прямоугольных вакуумных каналов.
Описание
Прямоугольный высоковакуумный затвор GCQ
Прямоугольные высоковакуумные затворы серии GCQ предназначены для перекрытия плоских каналов вакуумных систем, где невозможно применение стандартной круглой арматуры. Конструкция рассчитана на работу в диапазоне давлений 10⁵–10⁻⁵ Па и обеспечивает низкую собственную утечку, что позволяет использовать затворы в технологических и измерительных линиях.
Затвор представляет собой корпус прямоугольного профиля с подвижной запорной пластиной и направляющими. Пневматический привод (0,5–0,7 МПа) обеспечивает равномерное прижатие по периметру и стабильную работу в автоматизированных циклах. Встроенная магнитная индикация фиксирует положения «открыто» и «закрыто». Демпфирующая кинематика снижает вибрации и шум, что важно для чувствительных вакуумных процессов.
Корпус из нержавеющей стали допускает выполнение фланцев по техническому заданию, включая изготовление прямоугольных присоединений, переходов и водоохлаждаемых вариантов. Допустимый прогрев — до 150 °C в открытом состоянии и до 120 °C в закрытом. Уровень утечки менее 6,7×10⁻¹⁰ Па·м³/с обеспечивает использование затвора в системах, где требуется высокий вакуум и стабильные параметры течеискания.
Основные параметры
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип | прямоугольный высоковакуумный затвор GCQ |
| Диапазон давления | 10⁵ – 10⁻⁵ Па |
| Максимальная утечка | < 6,7×10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Привод | пневматический, 0,5–0,7 МПа |
| Индикация | магнитный датчик |
| Прогрев | 150 °C (открыто) / 120 °C (закрыто) |
| Присоединение | по заказу, возможны варианты с охлаждением |
Область применения
Затворы GCQ используются в прямоугольных вакуумных камерах, транспортных шлюзах, линиях напыления, плазменных установках и стендах контроля герметичности. Низкая собственная утечка делает их подходящими для применения в системах гелиевого течеискания и высокоточных технологических линиях.
