Прямоугольные высоковакуумные затворы GCQ

Прямоугольные затворы серии GCQ применяются в вакуумных системах, где требуется перекрытие каналов большого сечения нестандартной формы. Они обеспечивают работу в диапазоне 10⁵–10⁻⁶ Па при максимальной утечке ≤6,7×10⁻¹⁰ Па·м³/с и используются в прямоугольных камерах, шлюзах, установках напыления и линиях обработки плоских подложек. Конструкция предусмотрена для крупных технологических комплексов, где невозможно применить круглую арматуру CF/ISO.

Корпус под фланец ISO-F имеет усиленную геометрию и рассчитан на створки диаметром до DN1250. Запирающий элемент — прямоугольная шиберная пластина с периметральным прижимом. Привод — пневматический (0,6–0,7 МПа) с магнитной индикацией «открыто/закрыто». Такая схема обеспечивает повторяемость хода, возможность автоматизации и безопасную интеграцию в межблокировки вакуумной системы.

Затвор допускает вакуумный прогрев: до 150 °C при открытом положении и до 120 °C при закрытом. Монтаж выполняется горизонтально или с пневмоцилиндром вверх для обеспечения устойчивости направляющих. Фланцевое присоединение ISO-F унифицировано для всех типоразмеров, масса изделий достигает 2,2 т для DN1250.

Основные параметры серии

Область применения

Затворы GCQ используются в прямоугольных вакуумных камерах, транспортных шлюзах, линиях нанесения покрытий на стекло и металл, крупных испытательных стендах и технологических установках. Низкий уровень утечки и магнитная индикация делают серию пригодной для систем, где требуется автоматическая изоляция зон без ухудшения достигнутого вакуума.